MEMS0600 系列气体流量计

型号

MEMS06[03,06,10,15,20,25,32,40][A,AT]-[01,02,03]-[01,02]-[G,N,L]-[,O2,N2,H2,Ar,He,SiH4,NH3,POCl3,NF3]

详细规格参数

生成3D预览型号： FSTC-45-100-1205-1P-CM-M50W-S0-C5

3D格式

型号	通经范围（mm）	气体温度类型	输出方式	本体材料	螺纹类型	适用介质	管路连接螺纹尺寸	长度	宽度	高度	流量范围
MEMS0603A-01-01-N	3	常温	数字RS485	SUS304	NPT螺纹	空气	NPT1/8"内螺纹	88	38	56	0-2/1
MEMS0603A-01-01-N-O2	3	常温	数字RS485	SUS304	NPT螺纹	氧气	NPT1/8"内螺纹	88	38	56	0-2/1
MEMS0603A-01-01-N-N2	3	常温	数字RS485	SUS304	NPT螺纹	氮气	NPT1/8"内螺纹	88	38	56	0-2/1
MEMS0603A-01-01-N-H2	3	常温	数字RS485	SUS304	NPT螺纹	氢气	NPT1/8"内螺纹	88	38	56	0-2/1
MEMS0603A-01-01-N-Ar	3	常温	数字RS485	SUS304	NPT螺纹	氩气	NPT1/8"内螺纹	88	38	56	0-2/1
MEMS0603A-01-01-N-He	3	常温	数字RS485	SUS304	NPT螺纹	氦气	NPT1/8"内螺纹	88	38	56	0-2/1
MEMS0603A-01-01-N-SiH4	3	常温	数字RS485	SUS304	NPT螺纹	硅烷	NPT1/8"内螺纹	88	38	56	0-2/1
MEMS0603A-01-01-N-NH3	3	常温	数字RS485	SUS304	NPT螺纹	氨气	NPT1/8"内螺纹	88	38	56	0-2/1
MEMS0603A-01-01-N-POCl3	3	常温	数字RS485	SUS304	NPT螺纹	三氯氧磷	NPT1/8"内螺纹	88	38	56	0-2/1
MEMS0603A-01-01-N-NF3	3	常温	数字RS485	SUS304	NPT螺纹	三氟化氮	NPT1/8"内螺纹	88	38	56	0-2/1
MEMS0603A-01-01-L	3	常温	数字RS485	SUS304	双卡套LOK	空气	LOK 1/8" 双卡套外螺纹	124	38	56	0-2/1
MEMS0603A-01-01-L-O2	3	常温	数字RS485	SUS304	双卡套LOK	氧气	LOK 1/8" 双卡套外螺纹	124	38	56	0-2/1
MEMS0603A-01-01-L-N2	3	常温	数字RS485	SUS304	双卡套LOK	氮气	LOK 1/8" 双卡套外螺纹	124	38	56	0-2/1
MEMS0603A-01-01-L-H2	3	常温	数字RS485	SUS304	双卡套LOK	氢气	LOK 1/8" 双卡套外螺纹	124	38	56	0-2/1
MEMS0603A-01-01-L-Ar	3	常温	数字RS485	SUS304	双卡套LOK	氩气	LOK 1/8" 双卡套外螺纹	124	38	56	0-2/1
MEMS0603A-01-01-L-He	3	常温	数字RS485	SUS304	双卡套LOK	氦气	LOK 1/8" 双卡套外螺纹	124	38	56	0-2/1
MEMS0603A-01-01-L-SiH4	3	常温	数字RS485	SUS304	双卡套LOK	硅烷	LOK 1/8" 双卡套外螺纹	124	38	56	0-2/1
MEMS0603A-01-01-L-NH3	3	常温	数字RS485	SUS304	双卡套LOK	氨气	LOK 1/8" 双卡套外螺纹	124	38	56	0-2/1
MEMS0603A-01-01-L-POCl3	3	常温	数字RS485	SUS304	双卡套LOK	三氯氧磷	LOK 1/8" 双卡套外螺纹	124	38	56	0-2/1
MEMS0603A-01-01-L-NF3	3	常温	数字RS485	SUS304	双卡套LOK	三氟化氮	LOK 1/8" 双卡套外螺纹	124	38	56	0-2/1

	型号	通经范围（mm）	气体温度类型	输出方式	本体材料	螺纹类型	适用介质	管路连接螺纹尺寸	长度	宽度	高度	流量范围

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